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[討論]磁控濺射鍍膜的話，怎么計(jì)算薄膜的摻雜濃度？ [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-01-01

對(duì)鍍制的金屬陶瓷膜（磁控濺射法，金屬靶和陶瓷靶共濺射），有哪些方法可以計(jì)算出薄膜的摻雜濃度？

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2009-02-13

EDX,EMPA

只看該作者 2樓發(fā)表于: 2009-02-13

EDS,EMPA,SORRY,方法很多

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