在過去很長一段時間內(nèi),超快
激光器一直是
激光器市場中一個“沉睡的角落”,它們的存在是為了滿足一些奇特的研發(fā)應(yīng)用。然而現(xiàn)如今,不但很多激光器供應(yīng)商都生產(chǎn)超快激光器,而且其中很大一部分供應(yīng)商還生產(chǎn)超快
光纖激光器,其中有兩家甚至還有超快薄片激光器。這個“沉睡的角落”到底發(fā)生了什么呢?
GHO6$iM)[ ~|S}$|Mi50 新技術(shù)要求我們對超快激光器做出精確定義。在脈沖壓縮技術(shù)出現(xiàn)之前,皮秒激光器曾經(jīng)被視為超快的極限,并且現(xiàn)在人們也認(rèn)為它們比飛秒激光器更適合許多材料的微加工。我們對于超快的定義既包括皮秒激光器也包括飛秒激光器。
p/HGI)' Svdmg D! 多年來,超快激光器一直局限于科研應(yīng)用。如果激光器是人們最后才使用的工具,那么超快激光器就是所有激光器中的最后選擇。換句話說,如果能夠更加容易而且廉價地達(dá)到工作目的,用戶就不會選擇使用激光器。如果需要使用激光器作為工具,連續(xù)波或Q開關(guān)激光器通常要比超快激光器易于操作,且成本低廉。
qFI19`?8E M[C)b\ 然而,如果把超快激光器比作精密的手術(shù)刀,那么其他激光器就像粗糙不平的鋸子。超快激光器可以完美地在材料中形成非常干凈的切口,而且熱損傷很小,甚至沒有熱損傷。被加工的材料可以是微流體器件、光刻
半導(dǎo)體器件、人體組織以及炸藥等等。超快激光器之所以能實(shí)現(xiàn)如此完美的加工效果,原因是超快脈沖能夠非常迅速地供給能量。它可以在產(chǎn)生的熱量耗散掉之前使材料汽化或者啟動多光子過程。因此它可以實(shí)現(xiàn)無熱過程,或者至少是熱損傷最小的過程。但是對于大多數(shù)
激光加工應(yīng)用來說,這未免有些過于精密了。
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