光學(xué)表面的變形包含剛體位移和表面畸變。它們將對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量產(chǎn)生不同的影響。通過(guò)數(shù)值方法可以求得剛 kA3kh`l
體位移，但還沒(méi)有專(zhuān)門(mén)的可視化軟件對(duì)鏡面面形情況進(jìn)行仿真分析。提出了鏡面面形的可視化仿真方法，它利用Zernike多 1eJ\CdI
項(xiàng)式與Seidel象差之問(wèn)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，對(duì)有限元數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理，并采用PV值和RMS等數(shù)值解、表面畸變?cè)茍D及理論干涉圖 LJ)3 !Q/:
等形式對(duì)鏡面面形進(jìn)行模
