光學(xué)表面的變形包含剛體位移和表面畸變。它們將對光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量產(chǎn)生不同的影響。通過數(shù)值方法可以求得剛 H0yM`7[y
體位移,但還沒有專門的可視化軟件對鏡面面形情況進(jìn)行仿真分析。提出了鏡面面形的可視化仿真方法,它利用Zernike多 V]"pM]>3X
項式與Seidel象差之問的對應(yīng)關(guān)系,對有限元數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理,并采用PV值和RMS等數(shù)值解、表面畸變云圖及理論干涉圖 =P_*.SgR
等形式對鏡面面形進(jìn)行模