各位同行大哥大姐，小弟這有一個(gè)膜系設(shè)計(jì)的問(wèn)題想請(qǐng)教大家。 |`Ntv}  
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我在膜系設(shè)計(jì)時(shí)開(kāi)始沒(méi)有考慮到設(shè)計(jì)TOOLING。設(shè)計(jì)并優(yōu)化了膜系。光譜符合我們的要求。加上設(shè)計(jì)TOOLING后就不行了。我想請(qǐng)教各位:tooling 是1 的時(shí)候和不是1，比如是1.27(TI3O5)時(shí)它們之間有沒(méi)有一個(gè)換算關(guān)系. ICoHI  
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小弟不才.H層和L 層TOOLING 不是1 的時(shí)候我很難控制它的中心波長(zhǎng). `PdQX.wN  
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拜托各位了.小弟再次謝過(guò)了. a %'the  
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你用的是什么軟件？TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的嗎？一般都是正比例關(guān)系，或者直接就是乘積的關(guān)系，具體的關(guān)系，相應(yīng)的軟件說(shuō)明里應(yīng)該有的

是軟件里面的設(shè)計(jì)TOOLING。比如H層（TI3O5）為1.21,L層（SIO2）為1.102.它的這個(gè)TOOLING 是我們測(cè)3。1算出來(lái)的。通常都不會(huì)是1。 <X^
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  但我們?cè)谠O(shè)計(jì)的時(shí)候算設(shè)計(jì)波長(zhǎng)是：根據(jù)g的半寬和我們所要求的中心波長(zhǎng)來(lái)算的。如果TOOLING不是1的話(huà)。所算出來(lái)的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)就不準(zhǔn)了。 #u
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  我想知道我們可不 可以先用TOOLING是1來(lái)設(shè)計(jì)。等設(shè)計(jì)好了之后再用一個(gè)公式什么的來(lái)轉(zhuǎn)換呢。 R)(T^V`{  
  非常感謝~~~！�。� V)-+Fd,=  
                  再次謝謝~~�。。�！

可以先把tongling定為1.這個(gè)應(yīng)該是相乘的關(guān)系，一般的軟體都把tooling 的默認(rèn)值設(shè)置為1，然后自己在根據(jù)自己的設(shè)備情況進(jìn)行調(diào)整。

樓主用的是什么軟件？

謝謝各位了。。我回家里試過(guò)了。也還可以。。呵呵。。

請(qǐng)問(wèn)TOOLING是啥意思?

其實(shí)就是一個(gè)比例系數(shù)啊。在這里就是實(shí)際厚度和理論厚度的比值。

是不是膜厚控制的tooling啊？如果是，對(duì)于同一個(gè)蒸發(fā)源，一般的不同材料tooling差別不大啊。 }C?'
BRX  
如果樓主成膜時(shí)H、L材料使用不同的蒸發(fā)源，建議將兩個(gè)蒸發(fā)源的tooling調(diào)成一樣。 iy!=6  
    無(wú)論怎樣，設(shè)計(jì)是也是可以按照理想狀態(tài)設(shè)計(jì)的，只不過(guò)鍍膜程式要隨需變化。遇到摟住的情況，在下覺(jué)得問(wèn)題不在設(shè)計(jì)，而應(yīng)該考慮設(shè)備方面的問(wèn)題。

好呀我來(lái)了又