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    [討論]膜系設(shè)計相關(guān)問題 [復制鏈接]

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    離線lawsonfang
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2005-07-28
    各位同行大哥大姐,小弟這有一個膜系設(shè)計的問題想請教大家。 |EX(8y  
    Whm,F^  
    我在膜系設(shè)計時開始沒有考慮到設(shè)計TOOLING。設(shè)計并優(yōu)化了膜系。光譜符合我們的要求。加上設(shè)計TOOLING后就不行了。我想請教各位:tooling 是1 的時候和不是1,比如是1.27(TI3O5)時它們之間有沒有一個換算關(guān)系. +0nJ  
    g| I6'K!<  
    小弟不才.H層和L 層TOOLING 不是1 的時候我很難控制它的中心波長. 5B3G @KR  
    N"Zt47(  
    拜托各位了.小弟再次謝過了. 4%>$-($  
    Q ayPo]O  
    我的郵箱:fang198112042001@163.com
     
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    離線birdy
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2005-07-28
    你用的是什么軟件?TOOLING是什么上的tooling,是厚度控制上的嗎?一般都是正比例關(guān)系,或者直接就是乘積的關(guān)系,具體的關(guān)系,相應(yīng)的軟件說明里應(yīng)該有的
    離線lawsonfang
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2005-07-30
    是軟件里面的設(shè)計TOOLING。比如H層(TI3O5)為1.21,L層(SIO2)為1.102.它的這個TOOLING 是我們測3。1算出來的。通常都不會是1。 x kx^%3dV  
      但我們在設(shè)計的時候算設(shè)計波長是:根據(jù)g的半寬和我們所要求的中心波長來算的。如果TOOLING不是1的話。所算出來的設(shè)計波長就不準了。 k]F[>26k  
      我想知道我們可不 可以先用TOOLING是1來設(shè)計。等設(shè)計好了之后再用一個公式什么的來轉(zhuǎn)換呢。  VA6}  
      非常感謝~~~。! nv*FT  
                      再次謝謝~~。。!
    離線flyinlove79
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    可以先把tongling定為1.這個應(yīng)該是相乘的關(guān)系,一般的軟體都把tooling 的默認值設(shè)置為1,然后自己在根據(jù)自己的設(shè)備情況進行調(diào)整。
    離線flyinlove79
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    樓主用的是什么軟件?
    離線lawsonfang
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2005-08-01
    謝謝各位了。。我回家里試過了。也還可以。。呵呵。。
    離線kevin980828
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2005-08-28
    請問TOOLING是啥意思?
    離線birdy
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2005-08-29
    其實就是一個比例系數(shù)啊。在這里就是實際厚度和理論厚度的比值。
    離線dzk999
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2006-02-22
    是不是膜厚控制的tooling。咳绻,對于同一個蒸發(fā)源,一般的不同材料tooling差別不大啊。 5MroNr  
    如果樓主成膜時H、L材料使用不同的蒸發(fā)源,建議將兩個蒸發(fā)源的tooling調(diào)成一樣。 +^` I?1\UF  
        無論怎樣,設(shè)計是也是可以按照理想狀態(tài)設(shè)計的,只不過鍍膜程式要隨需變化。遇到摟住的情況,在下覺得問題不在設(shè)計,而應(yīng)該考慮設(shè)備方面的問題。
    離線sunkexian
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2007-07-22
    好呀我來了又