假設(shè)補(bǔ)償器的概況為:1)采用了現(xiàn)有的3坐標(biāo)測(cè)量機(jī)才控制裝調(diào)精度,預(yù)計(jì)精度1微米
tww=~! wh%xkXa[ur 2)設(shè)計(jì)值,中心厚度如圖所示:
69>/@< IroPx#s:i kVd5,Qd a"x}b 補(bǔ)償器示意圖,設(shè)計(jì)值為A=20.029mm,B=166.066,C=20.030mm(其中AC材料為K9,即N-BK7,對(duì)1310nm的光折射率n=1.5197846,B為空氣)
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! 這種設(shè)計(jì)之下該如何對(duì)成品補(bǔ)償器進(jìn)行測(cè)量?