此機(jī)之前的故障是抽真空只能抽到5.5*10-3帕，然后再抽幾個小時都抽不下來一直在5.5*10-3帕左右。之后對該機(jī)清洗擴(kuò)散泵更換泵油，對整個真空室進(jìn)行徹底清理，更換高筏軸心密封圈，擋板密封圈，公轉(zhuǎn)密封圈。之后再抽真空冷抽可以抽到7.9*10-4帕，擴(kuò)散泵能抽到1.2*10-4帕，熱抽只能抽到3.6*10-3帕就又抽不動了一直在3.6*10-3帕左右 好象和之前的情況一樣，對多個可能漏氣的地方我都進(jìn)行了撿漏可是都沒有發(fā)現(xiàn)有漏的地方，實在是搞不明白。請那位高手指點(diǎn)指點(diǎn)，在此謝過！我的電話是0757-81694529 。
