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    [求助]請(qǐng)問(wèn)有沒(méi)有在Silica上刻光波導(dǎo)方面的資料？ [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-11-23
    用集成電路的工藝來(lái)刻蝕Silicon很容易，除了在設(shè)計(jì)方面費(fèi)點(diǎn)事。 RN, 5>.w  
    如果我想用傳統(tǒng)的二氧化硅刻光波導(dǎo)（AWG的那些東西），工藝就不同，應(yīng)為Silica不容易刻。 F!k3/z  
    哪位高手有用Silica刻光波導(dǎo)的資料？謝謝了。 Q:L^DZkGV  
     
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2010-06-14
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