高功率和高光束質(zhì)量是材料加工用
激光器的兩個基本要求。為了提高大功率
半導(dǎo)體激光器的輸出功率,可以將十幾個或幾十個單管激光器
芯片集成封裝、形成激光器巴條,將多個巴條堆疊起來可形成激光器二維疊陣,激光器疊陣的光功率可以達到千瓦級甚至更高。但是隨著半導(dǎo)體激光器條數(shù)的增加,其光束質(zhì)量將會下降。另外,半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)的特殊性決定了其快、慢軸光束質(zhì)量不一致:快軸的光束質(zhì)量接近衍射極限,而慢軸的光束質(zhì)量卻比較差,這使得半導(dǎo)體激光器在工業(yè)應(yīng)用中受到了很大的限制。要實現(xiàn)高質(zhì)量、寬范圍的
激光加工,激光器必須同時滿足高功率和高光束質(zhì)量。因此,現(xiàn)在發(fā)達國家均將研究開發(fā)新型高功率、高光束質(zhì)量的大功率半導(dǎo)體激光器作為一個重要研究方向,以滿足要求更高激光功率密度的激光材料加工應(yīng)用的需求。
Imke/ =h g(KK9Unu 大功率半導(dǎo)體激光器的關(guān)鍵技術(shù)包括半導(dǎo)體激光芯片外延生長技術(shù)、半導(dǎo)體激光芯片的封裝和
光學(xué)準直、激光光束整形技術(shù)和激光器集成技術(shù)。
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