《現(xiàn)代
光學薄膜技術(shù)》第一篇主要介紹光學薄膜特征的理論計算、光學多層膜的設(shè)計理論和技術(shù),由唐晉發(fā)教授編寫。第二篇主人介紹光一膜的制造技術(shù),包括以物理氣相淀積技術(shù)為代表的成膜技術(shù),涵蓋真空設(shè)備、薄膜
材料、制備
參數(shù)控制技術(shù)、薄膜厚度監(jiān)控技術(shù)、膜厚均勻性以及制備參數(shù)對薄膜微觀
結(jié)構(gòu)影響等。第三篇主要介紹薄膜光學特性與光學常數(shù)的檢測技術(shù)、薄膜機械性能的評價技術(shù)等。由于光學薄膜技術(shù)又是一門交叉性很強的學科,涉及到光電技術(shù)、計算機、真空技術(shù)、材料科學、自動控制技術(shù)等領(lǐng)域。
)eyzHB,H 光學薄膜是一門綜合性非常強的工程技術(shù)科學。它的理論基礎(chǔ)是電磁場理論和麥克斯韋方程,涉及光在傳播過程中,通過分層介質(zhì)的反射、透射和偏振特性等。
9M96$i`P 為了滿足部分來自不同領(lǐng)域的光學薄膜工作者學習《現(xiàn)代光學薄膜技術(shù)》的需要,增加了一個附錄,主要介紹幾個數(shù)學物理基礎(chǔ)理論。
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/Y0~BQC7! v)5;~.+% 第一篇光學多層膜設(shè)計
vzIo2,/7 第1章光學薄膜特性的理論計算
C`.YOkpj 1.1單色平面電磁波
-b-a21,m> 1.2平面電磁波在單一界布的反射和折射
kKyU?/aj 1.3光學薄膜特性的理論計算
UleT9 [M 1.4光學多層膜內(nèi)的電場強度分布
51k}LH 習題
P6gkbtg 第2章光學薄膜的設(shè)計理論
^j<v~GTx+ 2.1矢量作圖法
7hk)I`o65 2.2有效界面法
7[m+r:y 2.3對稱膜系的等效層
xs"i_se 2.4導納圖解技術(shù)
t!?`2Z5 習題
^#_gk uyd! 第3章光學薄膜
系統(tǒng)的設(shè)計
Px_8lB/; 3.1減反射膜
lJK]S=cd 3.2分束鏡
Ic/hVKYG5 3.3高反射膜
j\uZo.Ot+ 3.4干涉截止濾光片
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