Multiple Angle Laser Ellipsometer 多入射角激光橢圓偏振儀 k?n]ZNlT  
產(chǎn)品特點： VX&WlG`wa  
高精度、高穩(wěn)定性 |87W
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快速、高精度樣品校正 7>KQRLw  
快速測量、操作簡便 V:QdQ;c  
多角度測量 W\a!Q]pV  
樣品可水平或垂直放置 Ki63Ox^O  
一體化集成設(shè)計 g X8**g'  
橢圓偏振法簡稱橢偏法，是一種先進的測量薄膜納米級厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學(xué)處理上的困難，直到本世紀40年代計算機出現(xiàn)以后才發(fā)展起來。橢偏法的測量經(jīng)過幾十年來的不斷改進，已從手動進入到全自動、變?nèi)肷浣�、�?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=波長',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_6">波長和實時監(jiān)測，極大地促進了納米技術(shù)的發(fā)展。橢偏法的測量精度很高(比一般的干涉法高一至二個數(shù)量級)，測量靈敏度也很高(可探測生長中的薄膜小于0.1nm的厚度變化)。 利用橢偏法可以測量薄膜的厚度和折射率，也可以測定材料的吸收系數(shù)或金屬的復(fù)折射率等光學(xué)參數(shù)。因此，橢偏法在半導(dǎo)體材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 vQcUaPm\$  
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產(chǎn)品說明： lnjL7x  
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多入射角激光橢圓偏振儀EM01-633用于對納米層構(gòu)樣品的薄膜厚度和632.8nm波長下的折射率n及吸收系數(shù)k進行快速、高精度、高準確度的測量�？捎糜诒碚鳎� OU6^+Ta  
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1) 單層納米薄膜； 2
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c0SX]4} G  
2) 多層納米層構(gòu)膜系； %/X2 l  
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