《半導(dǎo)體材料與器件表征技術(shù)》詳細(xì)介紹了現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)中半導(dǎo)體材料和器件的表征技術(shù)，基本上覆蓋了所有的電學(xué)與光學(xué)測試方法，以及非常專業(yè)的與半導(dǎo)體材料相關(guān)的物理和化學(xué)測試方法。作者不但論述了測量中的相關(guān)物理問題及半導(dǎo)體材料與器件的參數(shù)的物理起源和物理意義，還將自己和他人的經(jīng)驗(yàn)?zāi)�結(jié)其中，并給出了具體測量手段，同時(shí)指出不同手段的局限性和測量注意事項(xiàng)。 y