《半導體材料與器件表征技術(shù)》詳細介紹了現(xiàn)代半導體工業(yè)中半導體材料和器件的表征技術(shù)，基本上覆蓋了所有的電學與光學測試方法，以及非常專業(yè)的與半導體材料相關(guān)的物理和化學測試方法。作者不但論述了測量中的相關(guān)物理問題及半導體材料與器件的參數(shù)的物理起源和物理意義，還將自己和他人的經(jīng)驗凝結(jié)其中，并給出了具體測量手段，同時指出不同手段的局限性和測量注意事項。 l/rhA6kEU  
本版經(jīng)修訂及擴展，增加了許多逐漸成熟起來的表征技術(shù)，如從探測硅晶圓中金屬雜質(zhì)的掃描探針到用于無接觸式電阻測量的微波反射技術(shù)。本版特色如下： ~?b(2gn  
增加了可靠性和探針顯微技術(shù)方面的全新內(nèi)容；增加了大量例題和章后習題；修訂了500幅圖例；更新了超過1200條參考文獻；采用了更合適的單位制，而不是嚴格的MKS單位制。 7P|(j<JX6'  
《半導體材料與器件表征技術(shù)》可作為碩士、博士研究生的教材，也可供高校教師、半導體工業(yè)研究人員參考使用。 ?QVD)JI*k  
DIETER K.SCHRODER是亞利桑那州立大學電子工程系教授，亞利桑那州立大學工程學院教學杰出貢獻獎獲得者，曾著《現(xiàn)代MOS器件》一書。 ^QW%<X  
全書共分電學表征、光學表征和物理表征三個部分，主要對半導體材料和器件表征技術(shù)作了介紹，具體內(nèi)容包括電阻率、載流子和摻雜濃度、載流子壽命、光學表征、物理化學特性的表征等�！栋雽�體材料與器件表征技術(shù)》在國外被廣泛選用為研究生專業(yè)課教材及工程技術(shù)人員的參考書，并在文獻中被大量引用。 nI_Zk.R  

圖片:cail.jpg

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第1章 電阻率 ir,Zc\C  
1.1 簡介 ,$;CII v  
1.2 兩探針與四探針 cF v
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練習1.1 Vj?.'