光阻,也叫
光阻劑,是一個用在許多工業(yè)制程上的光敏材料。像是光刻技術(shù),可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。
qI9z;_,gNz >`mVY=Hi 光阻有兩種,正向光阻(positive photoresist)和負向光阻(negative photoresist)。
_LUhZlw b:m88AG 正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份不會溶于光阻顯影液。
sPQQ"|wU 8f4b&ah 負向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份會溶于光阻顯影液。