900型箱式真空鍍膜機操作步驟： :CST!+)o
1.進入水泵房,開水泵和氣源,水的溫度控制在20攝氏度以下 gq_7_Y/
2.進入鍍膜室,拉上電閘,打開鍍膜機總電源,使鍍膜機啟動,此時鍍膜機顯示警報,關閉警報.然后在觸摸屏上點擊維持泵圖標,擴散泵開始預熱,等待溫度上升到270攝氏度,一般要1h左右. QC5f:B wM
3.開始打掃鍍膜室衛(wèi)生,保持較高的清潔度.在吸塵工作臺上擦拭基片,采用酒精和乙醚混合液擦拭,而后在60w的檢驗等下檢測,擦拭完畢安裝到真空室的旋轉工件架上,旋轉工件架檢測是否固定.然后向7號和8號坩堝中填ZrO2膜料.關上真空室門 ElR&scXi__
4.擴散泵到270攝氏度,啟動機械泵,然后點旁通閥和低通閥開始抽低真空,使真空度達到10~3Pa時,啟動羅茨泵,真空度達到3Pa時關閉維持泵,此時抽低真空完畢 #C;zS9(]B
5.關閉旁通閥和低通閥,打開閾閥和高通閥,再點烘烤和右修正擋板.等到真空度達到4×10~-3Pa :Mu8W_
6.真空度達到4×10~-3Pa時,打開電子槍電源,按下速流和燈絲按鈕,通過觀察窗觀察光斑位置,調節(jié)電子槍橫縱旋鈕,使矩形光斑內切與坩堝.旋轉電子槍速流旋鈕,在光控儀上速流顯示100時開始熔ZrO2膜料,調整光斑位置,調節(jié)速流達到150,再次調整光斑位置,然后調節(jié)速流達到200. LF)a"S h
7.打開擋板,開始蒸鍍.緩慢調節(jié)速流旋鈕,使光控儀上的速率上升到3.0左右.等到光能量走過3個極值之后,關上擋板換上8號坩堝,打開擋板,當在走過3個極值之后關上擋板. l9 NOzAH3
8.快速調節(jié)速流為零,關閉電子槍電源.然后關閉烘烤,修正擋板,高通 閥和閾閥,打開維持泵,關閉羅茨泵和機械泵 a$zm /
9.等到烘烤溫度下降到120攝氏度,停止旋轉工件架,然后點充氣圖標開始往真空室充氣 MRg\FR 2>1
10.取出工件,關機
