900型箱式真空鍍膜機操作步驟： \%p34K\
1.進入水泵房,開水泵和氣源,水的溫度控制在20攝氏度以下 b MU(?hb
2.進入鍍膜室,拉上電閘,打開鍍膜機總電源,使鍍膜機啟動,此時鍍膜機顯示警報,關(guān)閉警報.然后在觸摸屏上點擊維持泵圖標(biāo),擴散泵開始預(yù)熱,等待溫度上升到270攝氏度,一般要1h左右. "]-Xmdk09
3.開始打掃鍍膜室衛(wèi)生,保持較高的清潔度.在吸塵工作臺上擦拭基片,采用酒精和乙醚混合液擦拭,而后在60w的檢驗等下檢測,擦拭完畢安裝到真空室的旋轉(zhuǎn)工件架上,旋轉(zhuǎn)工件架檢測是否固定.然后向7號和8號坩堝中填ZrO2膜料.關(guān)上真空室門 b=/curl&
4.擴散泵到270攝氏度,啟動機械泵,然后點旁通閥和低通閥開始抽低真空,使真空度達到10~3Pa時,啟動羅茨泵,真空度達到3Pa時關(guān)閉維持泵,此時抽低真空完畢 ;>mCalwj
5.關(guān)閉旁通閥和低通閥,打開閾閥和高通閥,再點烘烤和右修正擋板.等到真空度達到4×10~-3Pa k#5 }\w!
6.真空度達到4×10~-3Pa時,打開電子槍電源,按下速流和燈絲按鈕,通過觀察窗觀察光斑位置,調(diào)節(jié)電子槍橫縱旋鈕,使矩形光斑內(nèi)切與坩堝.旋轉(zhuǎn)電子槍速流旋鈕,在光控儀上速流顯示100時開始熔ZrO2膜料,調(diào)整光斑位置,調(diào)節(jié)速流達到150,再次調(diào)整光斑位置,然后調(diào)節(jié)速流達到200. /x1MPP>fu
7.打開擋板,開始蒸鍍.緩慢調(diào)節(jié)速流旋鈕,使光控儀上的速率上升到3.0左右.等到光能量走過3個極值之后,關(guān)上擋板換上8號坩堝,打開擋板,當(dāng)在走過3個極值之后關(guān)上擋板. ?MQ.% J
8.快速調(diào)節(jié)速流為零,關(guān)閉電子槍電源.然后關(guān)閉烘烤,修正擋板,高通 閥和閾閥,打開維持泵,關(guān)閉羅茨泵和機械泵 ?Mee
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9.等到烘烤溫度下降到120攝氏度,停止旋轉(zhuǎn)工件架,然后點充氣圖標(biāo)開始往真空室充氣 WQHd[2Z#e
10.取出工件,關(guān)機
