為了兼容CD、DVD、HD-DVD 3種盤片,設(shè)計(jì)了適用于780、650、405 nm 3個波長的二冗衍射面和非球面相結(jié)合的單片物鏡,3個波長對應(yīng)的物鏡數(shù)值孔徑分別為0.45、0.60和0.65.介紹了單物鏡實(shí)現(xiàn)三焦點(diǎn)原理;論述了二兀衍射面和非球面的設(shè)計(jì)理論和結(jié)構(gòu)參數(shù),即二元衍射面刻環(huán)區(qū)域被分割成兩個同心環(huán)形區(qū)域,根據(jù)諧衍射原理,每個區(qū)域?qū)Σ煌牟ㄩL設(shè)定不同的衍射級次;最后,根據(jù)光學(xué)頭物鏡的性能評價參數(shù),應(yīng)用ZEMAX軟件進(jìn)行理論模擬和公差分析.結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的物鏡波像、波前均方差分別＜0.07λ和0.035λ,空間截止頻率＞1 200 cycle/mm,曲率半徑和厚度公差為300 nm,能滿足實(shí)際應(yīng)用的技術(shù)要求.
