高精準(zhǔn)薄膜度量 系統(tǒng) 與 軟件分析 產(chǎn)品 e]D TK*W~  
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美國(guó)SCI為世界薄膜度量系統(tǒng)和分析軟件行業(yè)的領(lǐng)軍者， q
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其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，OLED/LCD, 光電，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，顯示器，微型機(jī)電系統(tǒng)以及光附膜產(chǎn)業(yè)，SCI的薄膜特性度量系統(tǒng)品種豐富，從臺(tái)式研發(fā)設(shè)備到全自動(dòng)生產(chǎn)工具以及分析/設(shè)計(jì)軟件應(yīng)有盡有。 \6vr)1~N>  
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1) Film Wizard 軟件 : 市面上功能最強(qiáng)大的，多用途，界面友好的薄膜測(cè)試模擬軟件 'v_k#%  
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應(yīng)用實(shí)例，目前已經(jīng)有多套Film Wizard?軟件應(yīng)用于中國(guó)光電，半導(dǎo)體行業(yè)的研發(fā)和生產(chǎn)行業(yè)。 `$ZBIe/u  
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2) FilmTek 系統(tǒng): 為SCI出產(chǎn)的基于分光光度技術(shù)的度量系統(tǒng)，有多種不同配置，配合不同需求. i:
x<Vi  
4td9=dNA+l  
1.多層厚度（1 納米 到 250 微米） \{a 64  
2.折射率n d Z
xrIWx  
3.吸收系數(shù)k }=s64O9j  
4.雙折射率 NH!x6p]n  
5.能隙（Eg） 9
zlhJ7i  
6.表面粗糙度和損傷 8 G:f[\^  
7.多孔性，薄膜成份，結(jié)晶度（EMA模式） l*+9R  
8.薄膜溫度特性 %D E_kwL  
9.晶元曲率和薄膜耐壓性