20世紀(jì)70年代初實(shí)現(xiàn)了
半導(dǎo)體激光器(Laser Diode,LD)的室溫、連續(xù)激射后,開創(chuàng)了半導(dǎo)體
激光器發(fā)展的新時(shí)期,大功率激光二極管陣列具有電光轉(zhuǎn)換效率高、體積小、功率大、可靠性高、結(jié)構(gòu)簡單,可制成小體積全固化器件等優(yōu)點(diǎn),因而在激光
照明、泵浦固體激光器或
光纖激光器、材料處理、醫(yī)藥、航空航天等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。
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6c5 \j<aFOT( 大功率激光二極管陣列相對于其他同等功率水平的傳統(tǒng)激光器有很多突出的優(yōu)點(diǎn),但由于其輸出
光束質(zhì)量差,影響了它的直接應(yīng)用,因此大功率激光二極管陣列的光束整形技術(shù)成了人們關(guān)注的一個(gè)熱點(diǎn)問題。
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T) 激光二極管陣列發(fā)出的激光在水平和垂直方向上光束質(zhì)量相差懸殊,存在像散(束腰位置不一致)。正是由于這兩個(gè)方向上的光束質(zhì)量的極不均衡性使得LD應(yīng)用起來比較困難。而且這樣的快慢兩個(gè)方向上光束質(zhì)量相差很大的光束無法用一般的
光學(xué)系統(tǒng)直接改善而達(dá)到高功率密度輸出。因此,LD要獲得更廣泛的應(yīng)用,必須采用光束整形方法,解決光束質(zhì)量差、功率密度低的問題,滿足接收元件(比如光纖、激光晶體)對光斑尺寸、發(fā)散角、甚至光強(qiáng)分布的要求后,才能有效地工作。國外自上世紀(jì)80年代末期就已經(jīng)開展了高功率LD陣列的光束整形研究工作,取得了矚目的成績并發(fā)展了一些理論和方法。我國在這方面的研究卻相對較少、起步較晚。
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#l cSBS38> 近年來,使用二元光學(xué)元件(BOE)進(jìn)行激光束空間域整形的技術(shù)發(fā)展很快,并在實(shí)際應(yīng)用中取得了很大的成績。該技術(shù)成功地將橢圓高斯光束變換為均勻圓光束,將半導(dǎo)體激光器的橢圓像散光束準(zhǔn)直成整圓并消像散。該方法建立在衍射理論和惠更斯-菲涅耳衍射積分公式基礎(chǔ)上,由光學(xué)和計(jì)算機(jī)技術(shù)及精細(xì)微加工、微
電子技術(shù)和光刻技術(shù)相互交叉而成。