德國(guó)Roth & Rau MicroSystems GmbH是提供將等離子體（Plasma）和離子束（ion beam）技術(shù)應(yīng)用于薄膜和表面處理的加工設(shè)備及零部件的供應(yīng)商。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于多種工業(yè)領(lǐng)域，其中包括可為太陽(yáng)能電池硅片進(jìn)行邊緣絕緣處理的等離子體刻蝕系統(tǒng)，應(yīng)用于光伏領(lǐng)域中的其它干法刻蝕設(shè)備，以及適用于研究和開(kāi)發(fā)過(guò)程所需要的各種等離子體工藝設(shè)備�；�于公司在等離子體領(lǐng)域長(zhǎng)期積累的經(jīng)驗(yàn)和對(duì)工藝過(guò)程的全面的了解，Roth & Rau公司還可提供包括等離子體源和離子束源在內(nèi)的，針對(duì)不同工業(yè)領(lǐng)域中特殊表面處理、鍍膜、等離子體及離子束加工等方向的工藝設(shè)備系統(tǒng) I(va;hG<o  
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IonSys h@+(VQ  
Roth&Rau公司在現(xiàn)代高精密薄膜沉積和表面加工處理技術(shù)中，尤其是離子束加工方向樹(shù)立了新的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)體系。 ^q\9HBHT  
應(yīng)用： M,g
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離子束刻蝕：