摘要:采用兩層多晶硅表面微加工工藝, 研制開發(fā)了一種新型的微型可編程閃耀光柵. 該光柵具有結構簡單、工作譜段寬、光譜連續(xù)可調(diào)等特點. 為了實現(xiàn)可工作閃耀角的最大化, 有效利用 Dimple 結構作為柵條的核心功能組件, 其高度接近空氣間隙. 由實驗測得, 研制的微型可編程閃耀光柵在驅(qū)動電壓 112 V 作用下能達到的最大可工作閃耀角約 5.19°, 對應的最大閃耀波長達到中紅外 4.88 μm. 在此基礎上,以該微型可編程閃耀光柵為核心的分光元件, 研究了其在多光譜成像領域應用的可行性, 并搭建了多光譜成像系統(tǒng)的原型樣機, 得到了較好的實驗結果. 最后, 討論了該成像系統(tǒng)的優(yōu)點, 并提出了進一步研究的建議. 3-/|G-4k7
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關鍵詞:微型可編程閃耀光柵;表面微加工;光譜調(diào)制;多光譜成像
