摘要:采用兩層多晶硅表面微加工工藝, 研制開發(fā)了一種新型的微型可編程閃耀光柵. 該光柵具有結(jié)構(gòu)簡單、工作譜段寬、光譜連續(xù)可調(diào)等特點. 為了實現(xiàn)可工作閃耀角的最大化, 有效利用 Dimple 結(jié)構(gòu)作為柵條的核心功能組件, 其高度接近空氣間隙. 由實驗測得, 研制的微型可編程閃耀光柵在驅(qū)動電壓 112 V 作用下能達(dá)到的最大可工作閃耀角約 5.19°, 對應(yīng)的最大閃耀波長達(dá)到中紅外 4.88 μm. 在此基礎(chǔ)上,以該微型可編程閃耀光柵為核心的分光元件, 研究了其在多光譜成像領(lǐng)域應(yīng)用的可行性, 并搭建了多光譜成像系統(tǒng)的原型樣機, 得到了較好的實驗結(jié)果. 最后, 討論了該成像系統(tǒng)的優(yōu)點, 并提出了進(jìn)一步研究的建議. '
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關(guān)鍵詞:微型可編程閃耀光柵;表面微加工;光譜調(diào)制;多光譜成像
