摘要:采用兩層多晶硅表面微加工工藝,  研制開發(fā)了一種新型的微型可編程閃耀光柵.  該光柵具有結(jié)構(gòu)簡單、工作譜段寬、光譜連續(xù)可調(diào)等特點.  為了實現(xiàn)可工作閃耀角的最大化,  有效利用 Dimple 結(jié)構(gòu)作為柵條的核心功能組件,  其高度接近空氣間隙.  由實驗測得,  研制的微型可編程閃耀光柵在驅(qū)動電壓 112 V 作用下能達(dá)到的最大可工作閃耀角約 5.19°,  對應(yīng)的最大閃耀波長達(dá)到中紅外 4.88  μm.  在此基礎(chǔ)上,以該微型可編程閃耀光柵為核心的分光元件,  研究了其在多光譜成像領(lǐng)域應(yīng)用的可行性,  并搭建了多光譜成像系統(tǒng)的原型樣機(jī),  得到了較好的實驗結(jié)果.  最后,  討論了該成像系統(tǒng)的優(yōu)點,  并提出了進(jìn)一步研究的建議. d'[aOH4}  
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