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    [求助]光刻機(jī)的薄膜 [復(fù)制鏈接]

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    離線zhoufx
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-01-22
    為什么光刻機(jī)中同時(shí)用到了增透膜和高反膜？分別是用到了哪部分？
     
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    離線zhenge88
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-08-02
    透鏡用增透膜，反射鏡用高反膜。