引言
.>&kAf. ?+51 B- 早在80年代初,理論預(yù)言:
量子點
激光器的性能與量子階
激光器或量于線激光器相比,具有更低的閡值電流密度,更高的特征溫度和更高的增益等優(yōu)越特性[1,2]。這主要由于在量子點材料(又稱零維材料)中,載流子在三個運動方向上受到限制,載流于態(tài)密度與能量關(guān)系為6函數(shù),因而具有許多獨特的物理性質(zhì),如量子效應(yīng)、量子隧穿、非線性
光學(xué)等,極大地改善了材料的性能。因此,不但在基礎(chǔ)物理研究方面意義重大,而且在新型量子器件等方面顯示出廣闊的應(yīng)用前景。目前,零維材料結(jié)構(gòu)及其應(yīng)用為國際上最前沿的研究領(lǐng)域之一,仍處于探索階段。90年代初,利用MBE和MOCVD技術(shù),通過Stranski—Krastanow(S—K)模式生長In(Ga)As/GaAs自組裝量子點等零維
半導(dǎo)體材料有了突破性的進展,生長出品格較完整,尺寸較均勻,且密度和發(fā)射率較高的InAs量子點,并于1994年制備出近紅外波段InGaAs/GaAs量子點激光器[3]。目前國際上已有一些實驗室制備了In(Gs)As/GnAs量子點激光器[4-10]。本文報道我們在原有的基礎(chǔ)上[4]
優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計和生長工藝,制備出低閡值電流密度和大功率量子點激光器,并用光致發(fā)光(PL)、電致發(fā)光(EL)、原子力顯微鏡(AFM)和高分辨率透射電鏡(TEM)等對InAs/GaAs量子點垂直耦合結(jié)構(gòu)材料進行研究。
rQ/S|gG k{9s>l~' 1.實驗
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