光學(xué)鍍膜機(jī)的
維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。
}Oc+EV-Z 一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理
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@9(dk% 1.腔室內(nèi)部防護(hù)板
h8 N|m0W 周期：每月清理一次
z EtsMU 先對(duì)防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。
D6Aa5& rO+ 2.離子源清洗
`4'=&c9 周期：50~100小時(shí)
EFh^C.S8 A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機(jī)
說明書）
1.3dy]vG B.各個(gè)零件進(jìn)行噴砂，其中：
E
z}1Xse 柵網(wǎng)、石英杯噴砂壓力應(yīng)小于0.15MPa，砂子為粒度#100的Al粒子，操作距離30cm以上
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