光學鍍膜機的
維護包括腔室內部及各部件的清理、各計量部件的定期校準兩部分。
Rsfb?${0G 一、真空腔室內部及各部件的清理
Y.Zd_,qy 1.腔室內部防護板
RhE~Rw bx 周期：每月清理一次
L5FOlzn 先對防護板進行更換，將污染的防護板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲物柜以備下次更換。
6]?%1HSi 2.離子源清洗
h+1|.d 周期：50~100小時
~J X z A.離子源拆裝（可參照光學鍍膜機
說明書）
w1)Tn GT B.各個零件進行噴砂，其中：
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