光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。 fTQRn  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 s tvI  
1.腔室內(nèi)部防護(hù)板 Y7g
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周期：每月清理一次 kcGs2Y_*&  
先對(duì)防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。 ^NwXvp>7-  
2.離子源清洗 \Jq$!foYx  
周期：50~100小時(shí)