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    [推薦]F-theta鏡設(shè)計(jì)問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線icetea522
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-04-15
    — (cyqdesign) 不要使用本地圖片路徑,需要上傳到論壇服務(wù)器才能顯示。 (2011-04-15 16:23) —
    請(qǐng)教:1.F-THETA鏡設(shè)計(jì)時(shí)評(píng)價(jià)是以點(diǎn)列圖還是MTF曲線為準(zhǔn)? S; !7 /z  
               2.點(diǎn)列圖設(shè)計(jì)控制在什么范圍內(nèi),有要求嗎? B1U7z1<  
               3.我現(xiàn)在設(shè)計(jì)了兩種方案,第一種方案,點(diǎn)列圖和MTF曲線都很好,但是公差分析后彌散斑直徑中心視場為40um,邊緣視場最大到180um; 99Nm?