請教:1.F-THETA鏡設(shè)計時評價是以點列圖還是
MTF曲線為準(zhǔn)?
Sjb[v 2.點列圖設(shè)計控制在什么范圍內(nèi),有要求嗎?
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n 3.我現(xiàn)在設(shè)計了兩種方案,第一種方案,點列圖和MTF曲線都很好,但是
公差分析后彌散斑直徑中心
視場為40um,邊緣視場最大到180um;
FT'2J 第二種方案,點列圖中心視場和邊緣視場都差不多,彌散斑直徑在100um左右,但是MTF曲線很差。
!m {d6C[ 我該選哪個設(shè)計呢?
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