平面磁控濺射靶磁場的計(jì)算摘要：精確分析磁控靶的磁場對(duì)優(yōu)化磁控靶的設(shè)計(jì)非常重要。本文采用有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場分布 ,理論計(jì)算的結(jié)果與特斯拉計(jì)的實(shí)驗(yàn)測量相符 ,通過對(duì)比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場 ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴(kuò)展靶表面徑向磁場區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強(qiáng)磁芯上方徑向磁場。 6BHXp#
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關(guān)鍵詞：磁控濺射；磁場；有限元法
