直流磁控濺射在鋁襯底上沉積(TixAly)N薄膜及其性能研究摘要：本文利用獨立鈦靶 ,在襯底6063鋁合金表面鍍覆了一層氮化物薄膜。借助于 X射線衍射儀對薄膜的相組成進行分析 ,利用薄膜測厚儀和顯微硬度計對薄膜的厚度和硬度進行測量 ,通過光學金相顯微鏡及場發(fā)射掃描電子顯微鏡 ,觀察薄膜的微觀組織及薄膜質(zhì)量。通過觀測發(fā)現(xiàn) ,以獨立鈦靶在鋁襯底表面可以生成(TixAly)N薄膜。薄膜可以強化合金的表面、 增加合金的表面硬度。薄膜上的硬度壓痕周圍沒有發(fā)現(xiàn)放射狀的裂紋 ,表明薄膜與襯底結(jié)合良好。通過 SEM觀察發(fā)現(xiàn)薄膜有 v]q"{c/  
良好的顆粒均勻性、 致密性和表面平整度。 vBY?3p,0p  
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關鍵詞：磁控濺射；(Ti Al )N；薄膜；性能