掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術(shù)性能指標(biāo):
04tUf3> 分辨率:4.5nm(鎢絲陰極)
1!/+~J[# 放大倍數(shù):15倍-250,000倍
|Hn[XRsf 電子光學(xué)系統(tǒng) ^)N[x''a 電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極
J#*Uf>5NY 加速電壓:0-30kV
P
Y
+~,T2 透鏡系統(tǒng):電磁透鏡
Qu]0BVIe 物鏡光闌:三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)
s#w+^Mw$ 樣品室
Ku LZg 六個接口,可接WDS、EDS、BSE等多種附件和探測器
b{)('C$ 樣品臺
EZ #UdK_ 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm
))c;DJc T=-5°~+90°,R=360°
k/l@P 大樣品臺位稱:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm
BEvSX|M>x T=0°~+90°,R=360°
l^xkXj 計算機系統(tǒng):PC機,基于MicrosoftTM WindowsTMXP軟件操作系統(tǒng),全中文菜單
IyG5Rj2 圖像顯示與觀察
yb/<