掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術(shù)性能指標(biāo)： gigDrf}  
分辨率：4.5nm（鎢絲陰極） Y]&HU) u  
放大倍數(shù)：15倍-250,000倍 9]1-J5iO  
電子光學(xué)系統(tǒng) D@>P%k$$s>  
電子槍：發(fā)叉式鎢絲陰極 [^1;8Tbk  
加速電壓：0-30kV cV&(L]k>`  
透鏡系統(tǒng)：電磁透鏡 7bQ#M )}  
物鏡光闌：三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) 1S
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樣品室 @