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    [討論]折疊式光刻物鏡 [復(fù)制鏈接]

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    離線phoenixzqy
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2012-10-01
    回 ilyhairpin 的帖子
    ilyhairpin:貌似很復(fù)雜哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] *oX  
    Y1U"HqNl*  
    還好。在專利基礎(chǔ)上修改的。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線deaneliu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    請問LZ，這是用什么軟件做模擬的
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:請問LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] Y(I*%=:$  
    WJFTy+bD  
    zemax oslo codev都可以的。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:請問LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] o(SJuZC/U  
    &lfF!   
    成像軟件都可以。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線hoxomo
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2012-11-22
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:專利未修改之前，NA不到0.1；
    圖中這個系統(tǒng)的設(shè)計要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  1;[ <||K  
    0H]9$D  
    NA有點小啊，分辨率不高啊。
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2012-11-22
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA有點小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] %j`]x -aOz  
    $>`8'I  
    這個系統(tǒng)分辨率很高，不要只按na計算。你可以在zemax里模擬一下。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 16樓 發(fā)表于: 2012-11-22
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA有點小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] ZGBcy}U(k  
    #YV;Gp(2h  
    mtf@500仍大于0.35
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）
    離線hoxomo
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    只看該作者 17樓 發(fā)表于: 2012-11-30
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  #F kdcY  
    >A6lX)  
    那挺不錯的
    離線ekisyou
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    只看該作者 18樓 發(fā)表于: 2012-12-08
    封裝上面用的嗎
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 19樓 發(fā)表于: 2012-12-24
    回 ekisyou 的帖子
    ekisyou:封裝上面用的嗎(2012-12-08 22:11)嬀/color] +Bgy@.a?  
    kd2+k4@#  
    投影光刻上用的。紫外光刻。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計培訓(xùn)，歡迎報名參加。請關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號。詳細(xì)內(nèi)容請咨詢13661915143（同微信號）