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    [討論]折疊式光刻物鏡 [復(fù)制鏈接]

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    離線phoenixzqy
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-02-14
    在原有光刻物鏡專利的基礎(chǔ)上,對(duì)物鏡進(jìn)行了簡(jiǎn)化和修改,留出了添加反射鏡的空間,實(shí)現(xiàn)了光路的折疊。
     
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
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    離線phoenixzqy
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-02-14
    幫一學(xué)生做的光路模擬。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2012-03-27
    雙遠(yuǎn)心光路!
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
    離線hoxomo
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2012-08-31
    4:1的?
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2012-08-31
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:4:1的?(2012-08-31 17:47)嬀/color] OoaY  
    ?}sOG?{  
    差不多。從圖上能看出來(lái)的。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2012-09-27
    歡迎交流 合作
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
    離線hoxomo
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2012-09-28
    NA 多少? F5IZ"Itu(  
    離線phoenixzqy
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2012-09-28
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA 多少? h0XH`v  
    (2012-09-28 15:57)嬀/color] f9F2U )  
    :<UtHf<=k  
    專利未修改之前,NA不到0.1; $WClpvVj  
    >[P%Ty);  
    圖中這個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求是0.03~0.04.。
    2024年6月28-30日于上海組織線下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn),歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢13661915143(同微信號(hào))
    離線ilyhairpin
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2012-09-30
    貌似很復(fù)雜
    離線ilyhairpin
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2012-09-30
    貌似很復(fù)雜哎