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關(guān)于Ta2O5用于三層增透膜時
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關(guān)于Ta2O5用于三層增透膜時
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dede
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發(fā)表于: 2012-02-15
關(guān)鍵詞:
增透膜
Ta2O5用于三層
增透膜
時,零件發(fā)黃,吸收大,其鍍時
參數(shù)
是250度,速度為3埃/秒,充氧1E-2,2E-2,均試過,請教過很多高手,好象均無有良策?
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laohu0504
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發(fā)表于: 2012-10-16
解決問題了沒有呢? 可以聯(lián)絡(luò)laohu0504@163.com
PA E)3
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dede
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2樓
發(fā)表于: 2012-10-23
現(xiàn)在不用TA2O5了,用H4代替
\ys3&<;b
Hl#o& *Ui"
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jiangguang
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3樓
發(fā)表于: 2013-06-15
什么高手啊都 加離子源
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