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    [求助]關(guān)于Ta2O5用于三層增透膜時 [復(fù)制鏈接]

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    離線dede
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-02-15
    關(guān)鍵詞： 增透膜
    Ta2O5用于三層增透膜時，零件發(fā)黃，吸收大，其鍍時參數(shù)是250度，速度為3埃/秒，充氧1E-2，2E-2，均試過，請教過很多高手，好象均無有良策？
     
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    離線laohu0504
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2012-10-16
    解決問題了沒有呢?  可以聯(lián)絡(luò)laohu0504@163.com >YPC &@9   
    離線dede
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2012-10-23
    現(xiàn)在不用TA2O5了，用H4代替 7I~Ww{  
    G([8Q8B4 +  
    離線jiangguang
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2013-06-15
    什么高手啊都 加離子源 (g2?&b iuz  
    離線crl0129
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2013-11-21
    學(xué)習(xí)一下�。�
    離線dididida
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2019-11-05
    大蝦，還在嗎？我最近也是做了一個用SIO2+TA2O5 9層結(jié)構(gòu)并且最外層加MGF2的增透膜系，加熱工藝，溫度270，速率2.5-3.5，也是遇到了380nm附近一段吸收很大的問題，想請教一下你之前的這個問題是有解決嗎？可以給我點意見嗎