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[論文]光學非球面的超精密加工技術及非接觸檢測.PDF [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2012-08-28

關鍵詞：光學非球面精密加工

摘要：針對亞微米級及亞微米級以下的光學硬脆性非球面器件難加工問題，分析了光學非球面的形狀精度和應用，討論了其超精密加工原理和方法及非接觸檢測手段，結果表明，精密數(shù)控機床、硬脆性材料延性域加工原理和超精密檢測是光學非球面超精密加工的技術保證。