《國際信息工程先進技術(shù)譯叢:微
光學和
納米光學
制造技術(shù)》詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的制造工藝,重點強調(diào)了關(guān)鍵性的專業(yè)技巧,提供了最新的技術(shù)信息,內(nèi)容包括面浮雕衍射光學元件、微光學等離子體刻蝕加工技術(shù)、使用相位光柵掩模板的
模擬光刻術(shù)、光學器件的電子束納米光刻制造技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)和器件應用、平面光子晶體的設(shè)計和制造、三維(3D)光子晶體的制造——鎢成型法。
S,6/X.QBv 《國際信息工程先進技術(shù)譯叢:微光學和納米光學制造技術(shù)》參編作者都是微納米光學制造技術(shù)領(lǐng)域的專家,代表了當今微光學加工的領(lǐng)先水平?晒┕怆娮宇I(lǐng)域從事光學儀器設(shè)計、
光學設(shè)計和光機結(jié)構(gòu)設(shè)計(尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究)的工程師使用,也可以作為大專院校相關(guān)專業(yè)本科生、研究生和教師的參考書。
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]VKQm(,0 譯者序
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1 前言
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