《國際信息工程先進(jìn)技術(shù)譯叢:微光學(xué)和納米光學(xué)制造技術(shù)》詳細(xì)介紹了微光學(xué)和納米光學(xué)元件成功的、最新的制造工藝，重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了關(guān)鍵性的專業(yè)技巧，提供了最新的技術(shù)信息，內(nèi)容包括面浮雕衍射光學(xué)元件、微光學(xué)等離子體刻蝕加工技術(shù)、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術(shù)、光學(xué)器件的電子束納米光刻制造技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)和器件應(yīng)用、平面光子晶體的設(shè)計(jì)和制造、三維（3D）光子晶體的制造——鎢成型法。 wuXQa wo  
《國際信息工程先進(jìn)技術(shù)譯叢:微光學(xué)和納米光學(xué)制造技術(shù)》參編作者都是微納米光學(xué)制造技術(shù)領(lǐng)域的專家，代表了當(dāng)今微光學(xué)加工的領(lǐng)先水平�？晒┕怆娮宇I(lǐng)域從事光學(xué)儀器設(shè)計(jì)、光學(xué)設(shè)計(jì)和光機(jī)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)（尤其是從事光學(xué)成像理論、微納米光學(xué)研究）的工程師使用，也可以作為大專院校相關(guān)專業(yè)本科生、研究生和教師的參考書。 K*5gb^Ul  
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譯者序 ?<4pYEP  
前言 !B Pm{_C  
第1章面浮雕衍射光學(xué)元件 VB90