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微光學和納米光學制造技術(shù)

發(fā)布:cyqdesign 2012-09-29 22:55 閱讀:2961
《國際信息工程先進技術(shù)譯叢:微光學納米光學制造技術(shù)》詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的制造工藝,重點強調(diào)了關(guān)鍵性的專業(yè)技巧,提供了最新的技術(shù)信息,內(nèi)容包括面浮雕衍射光學元件、微光學等離子體刻蝕加工技術(shù)、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術(shù)、光學器件的電子束納米光刻制造技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)和器件應(yīng)用、平面光子晶體的設(shè)計和制造、三維(3D)光子晶體的制造——鎢成型法。