1、金屬膜的制作.(銀、鉻、鋁、金等金屬膜)
8ALYih7"W 2、標準鉻版的制作和特殊鉻版的制作。
U` bvv'38# 主要包括:2.0/2.5/3.0/4.0/5.0 英寸鉻版的制作.
`aSz"4Wd 3、光刻模版的設計與制作。
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C 最小線寬能達到1微米。精度在正負0。2微米左右。
T4Zp5m") 4、復制。
KU$.m3A> 根據客戶需求復制不同的圖案。如:分劃版、光柵版、
h#`qEK&u 碼盤以及其他特殊圖案的復制。最細線寬2微米。周期4微米。
f PDnkr 5、腐蝕。
i[FBll- 我們能夠對k9玻璃、石英、硅等材料上制作不同圖案的
*SC~_ 凹槽(根據不同的需求采用不同的腐蝕方法--濕法和干法刻蝕)