夏克哈特曼傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的波前測量儀器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡單、沒有移動部件、抗震動能力強(qiáng)、對被測光的相干性沒有要求、使用時無需參考光、可實時記錄波前變化過程、并同時適用于連續(xù)光和脈沖光的測量等優(yōu)點，現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的實時波前探測、激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測以及記錄鏡面連續(xù)變化過程中。 q3`u1S7Z7  
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優(yōu)點： EQ_aa@M7  
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快速測量波前，對振動不敏感 7HWmCaa[  
較大的動態(tài)范圍，可用于直接測量某些非球面，特別適合光學(xué)系統(tǒng)初期裝調(diào) pR_9NfV{  
缺點： wIgS3K  
空間分辨率依賴于微透鏡陣列，遠(yuǎn)比干涉儀低 lhJ'bYI  
其特性強(qiáng)烈依賴于軟件功能 CC`JZ.SO  
應(yīng)用 q(w(Sd)#L  
準(zhǔn)分子、YAG等激光器的光束診斷 *1"+%Z^  
光學(xué)元件變形測量 tJmTBsn  
大型非球面反射鏡和光學(xué)系統(tǒng)像差測量 Dv6}bx(  
湍流環(huán)境下光學(xué)系統(tǒng)像差測量 Gw` L"  
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夏克哈特曼波前傳感器主要由微透鏡陣列和高速CCD組成，結(jié)構(gòu)如圖1所示。探測波面經(jīng)微透鏡陣列分束并聚焦到CCD焦面上，經(jīng)過質(zhì)心計算及波前重構(gòu)算法可以得到探測波面。該方法與傳統(tǒng)哈特曼法相比有以下幾個特點: