夏克哈特曼
傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的波前測量儀器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡單、沒有移動部件、抗震動能力強、對被測光的相干性沒有要求、使用時無需參考光、可實時記錄波前變化過程、并同時適用于連續(xù)光和脈沖光的測量等優(yōu)點,現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)
光學(xué)系統(tǒng)的實時波前探測、
激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測以及記錄鏡面連續(xù)變化過程中。
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]==M ^X|Bzz)
['_W< f5P@PG]{ 優(yōu)點:
?F^O7\rw 'q7&MM'oS^ 快速測量波前,對振動不敏感
tk66Ggi[K 較大的動態(tài)范圍,可用于直接測量某些非球面,特別適合
光學(xué)系統(tǒng)初期裝調(diào)
{1L{ 缺點:
<o: O<p@6 空間分辨率依賴于微
透鏡陣列,遠(yuǎn)比干涉儀低
+L-(Lz[p 其特性強烈依賴于
軟件功能
JLh{>_Rr 應(yīng)用
2'-o'z< 準(zhǔn)分子、YAG等
激光器的光束診斷
Jl-:@[; 光學(xué)元件變形測量
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大型非球面反射鏡和光學(xué)系統(tǒng)像差測量
I!u fw\[ 湍流環(huán)境下光學(xué)系統(tǒng)像差測量
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