夏克哈特曼
傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測(cè)量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的波前測(cè)量儀器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡單、沒有移動(dòng)部件、抗震動(dòng)能力強(qiáng)、對(duì)被測(cè)光的相干性沒有要求、使用時(shí)無需參考光、可實(shí)時(shí)記錄波前變化過程、并同時(shí)適用于連續(xù)光和脈沖光的測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)
光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)波前探測(cè)、
激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測(cè)以及記錄鏡面連續(xù)變化過程中。
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K8q'@ 優(yōu)點(diǎn):
U1R4x!ym4 -:Rp'SJ 快速測(cè)量波前,對(duì)振動(dòng)不敏感
#JW+~FU` 較大的動(dòng)態(tài)范圍,可用于直接測(cè)量某些非球面,特別適合
光學(xué)系統(tǒng)初期裝調(diào)
+j/~Af p5f 缺點(diǎn):
F-gE<< 空間分辨率依賴于微
透鏡陣列,遠(yuǎn)比干涉儀低
svhI3"r 其特性強(qiáng)烈依賴于
軟件功能
ko\):DN 應(yīng)用
zJN7<sv 準(zhǔn)分子、YAG等
激光器的光束診斷
iCQ>@P]nE 光學(xué)元件變形測(cè)量
L^`}J7r 大型非球面反射鏡和光學(xué)系統(tǒng)像差測(cè)量
,xi({{L* 湍流環(huán)境下光學(xué)系統(tǒng)像差測(cè)量
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