夏克哈特曼傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測(cè)量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的波前測(cè)量?jī)x器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、沒(méi)有移動(dòng)部件、抗震動(dòng)能力強(qiáng)、對(duì)被測(cè)光的相干性沒(méi)有要求、使用時(shí)無(wú)需參考光、可實(shí)時(shí)記錄波前變化過(guò)程、并同時(shí)適用于連續(xù)光和脈沖光的測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)波前探測(cè)、激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測(cè)以及記錄鏡面連續(xù)變化過(guò)程中。 4