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[分享]本人用光馳的NBPF和OTFC機(jī)器多年，有啥問題我們交流交流 [復(fù)制鏈接]

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離線luffy17520

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2013-03-31

本人用光馳的NBPF和OTFC機(jī)器多年，有啥問題我們交流交流，鍍膜還是需要注重交流的，有不懂得可以來交流下！

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2013-03-31

不錯(cuò)，鍍膜的經(jīng)驗(yàn)很重要，歡迎大家積極參與。

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2013-04-01

好同志

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離線tfcalc68

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2013-04-17

有啊，怎么做修正版？左邊活動(dòng)的和右邊固定的

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離線louyc

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樓主感覺這2種設(shè)備用的怎么樣？

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離線lsnanjing

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2013-05-29

是啊，交流很重要

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2013-08-19

光馳OTFC好設(shè)備呀！

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離線luffy17520

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2013-11-21

回 tfcalc68 的帖子

tfcalc68:有啊，怎么做修正版？左邊活動(dòng)的和右邊固定的(2013-04-17 16:08)嬀/color] Lg+cHaA

大機(jī)器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。
大機(jī)器還有離子源修正板，這個(gè)比較簡(jiǎn)單。
小機(jī)器為左右擋板，試驗(yàn)原理也是單腔
波長(zhǎng)長(zhǎng)了就修掉一點(diǎn)，讓ibs多多轟擊即可
過程中的因子可以是時(shí)間與厚度的比值、每次中心波長(zhǎng)的比值等等。。