luffy17520:大機(jī)器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 ,66(*\xT  
大機(jī)器還有離子源修正板，這個比較簡單。 C_q2bI  
小機(jī)器為左右擋板，試驗原理也是單腔 f2o6GC_  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 t$t'{*t( T  
....... (2013-11-21 15:53)  2TB'HNTFx