luffy17520:大機器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 dngG=  
大機器還有離子源修正板，這個比較簡單。  0*E_D  
小機器為左右擋板，試驗原理也是單腔 "!ks7:}v  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 83J63Xa  
....... (2013-11-21 15:53)  W*B=j[w