半導(dǎo)體UVLED曝光
半導(dǎo)體UVLED曝光方法,適于利用一臺(tái)UVLED曝光機(jī)對(duì)晶片進(jìn)行曝光。這種半導(dǎo)體UVLED曝光機(jī)至少是由用來承載晶片的曝光鏡頭以及液體循環(huán)裝置構(gòu)成,其中液體循環(huán)裝置在曝光期間為曝光鏡頭與晶片之間供應(yīng)液體。其特征在于,半導(dǎo)體UVLED曝光前,利用至少一對(duì)準(zhǔn)光源對(duì)承載臺(tái)進(jìn)行一對(duì)準(zhǔn)操作,其中對(duì)準(zhǔn)光源具有一特定波長(zhǎng),使液體揮發(fā)時(shí)對(duì)對(duì)準(zhǔn)光源的影響降至最低,以防止液體影響前述對(duì)準(zhǔn)操作。
半導(dǎo)體UVLED曝光機(jī)的原理以及特點(diǎn): 1、省電節(jié)能,減低成本,半導(dǎo)體UVLED曝光機(jī)的LED發(fā)光達(dá)到某種亮度時(shí)所消耗的能量只有15瓦左右,而傳統(tǒng)的燈達(dá)到同樣亮度要消耗1500瓦的能量,即使與UV鹵素?zé)粝啾,也可?jié)省80%的能源。 2、LED燈的發(fā)光不是紅外線加熱,發(fā)放的熱力較低,因而不會(huì)影響那些容易受熱而變形的介質(zhì)(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷過程中的傳送。這樣,介質(zhì)的應(yīng)用范圍就更加廣泛了。 3、反應(yīng)時(shí)間快,LED燈不需要預(yù)熱,可以開機(jī)后立即印刷,生產(chǎn)力得以提高。 4、安全性高,穩(wěn)定性高,UV噴墨印刷機(jī)的印刷質(zhì)量跟UV干燥固化的過程有莫大關(guān)系,LED燈的穩(wěn)定性使得輸出的能量是可預(yù)見的、穩(wěn)定的,因此印刷效果同樣是可預(yù)見的、穩(wěn)定的。 |